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CHARACTERISTIC FEATURE EVALUATION OF THE NEW TYPE DIELECTRIC DISCHARGE IONIZER
[in Japanese]
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NISHIZAWA Satoshi
,
NAKAMURA Hiroyuki
,
YAMADA Kenji
,
MATSUSHIMA Shigenori
,
OBATA Kenji
… マイカシートを誘電体としその両面に高圧電極,誘導電極を持つ構造のマイクロディスチャージ沿面放電素子は半導体製造工程で必須とされる除電機の新型素子として期待されている.この素子の特性評価と改良を行なった.SEM/EDXによる表面観察により,素子製造工程のエッチング法を改良し,従来品より5倍ほど素子の長寿命化が達成された.複素インピーダンス測定では複合素子の電気特性評価可能性を示唆した.更に,素子 …
日本高専学会誌 : journal of the Japan Association for College of Technology 15(3), 53-58, 2010-08-30
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