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Design of the Backside Illuminated Ultrahigh-Speed CCD
[in Japanese]
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ARAI Toshiki
,
HAYASHIDA Tetsuya
,
KITAMURA Kazuya
,
YONAI Jun
,
MARUYAMA Hirotaka
,
OOTAKE Hiroshi
,
OHTSUKA Nao
,
LE Cuong Vo
,
ETOH Takeharu Goji
,
KUIJK Harry van
… 超高速度CCDの感度向上のため,超高速度CCDを裏面照射型にする素子構造について検討した.裏面照射型超高速度CCDは開口率100%と量子効率60%により,表面照射型に比べ感度10倍以上を達成できる.超高速度CCDは素子表面側にCCDメモリが存在する特殊な構造のため,独特な課題に対処することが可能なn-/p-2層エピタキシアル構造について検討した.入射 …
The transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C J94-C(6), 147-154, 2011-06-01
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