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プラズマディスプレイ用電極保護膜の高性能化に向けた計算機シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
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芹澤 和実
,
大沼 宏彰
,
菊地 宏美
,
末貞 和真
,
北垣 昌規
,
山下 格
,
鈴木 愛
,
坪井 秀行
,
畠山 望
,
遠藤 明
,
高羽 洋充
,
久保 百司
,
梶山 博司
,
宮本 明
プラズマディスプレイの低消費電力化のために、二次電子放出能の高いMgO保護膜の設計が求められる。しかし一般に表面の微細構造や電子状態と、その二次電子放出特性を同時に知ることは困難である。そこで著者らは計算化学により保護膜表面の構造および電子状態を予測した。さらに従来まで考慮されていなかった表面トラップ電子によるエネルギー保存の効果を二次電子放出モデルに盛り込み、また電子遷移確率の精密化を測ることで …
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 109(257), 39-40, 20091022
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