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An RF-MEMS tunable capacitor with CMOS driver IC
[in Japanese]
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SUGIZAKI Yoshiaki
,
IKEHASHI Tamio
,
YAMAZAKI Hiroaki
,
SAITO Tomohiro
,
OGAWA Etsuji
,
SHIMOOKA Yoshiaki
,
SHIBATA Hideki
… CMOSドライバーICを混載したRF-MEMS可変容量を開発した。 … CMOSドライバーICにはMEMSの駆動に必要な高電圧を合成する昇圧回路だけでなく、MEMSの信頼性を向上させる特殊な回路(IBA回路)を実装した。 …
Technical report of IEICE. ICD 111(327), 13-18, 2011-11-21
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