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Gate Dielectrics Interface Control for III-V MISFET
[in Japanese]
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YASUDA Tetsuji
,
MIYATA Noriyuki
,
OHTAKE Akihiro
… 22nm世代以降のCMOSにおいて性能向上を実現するためのオプションとして,III-V族半導体のnチャネルへの導入が注目を集めている.本研究では,III-V/High-k界面のモデル系として,HfO_2/GaAs直接接合界面の結合をGa-O型とAs-O型とで作り分けた試料の電気特性について検討した.さらに,CMOSのpチャネルにGe系の材料が採用された場合にゲートスタックの一括プロセスが可能にな …
Technical report of IEICE. SDM 108(80), 41-46, 2008-06-02
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