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Nano Mist Deposition (NMD) technique for fabrication of polymer layer and OLED
[in Japanese]
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KIKUCHI Akihiko
,
IRIE Takayuki
エレクトロスプレー法の一種であり、ノズル近傍に引出電極を装荷したナノミスト堆積(NMD)法を用いて、緑色発光高分子であるF8BT薄膜の成膜特性を評価した。電極-基板間距離を広げることにより塗布領域は線形に拡大し、直径47mm程度の領域に成膜が可能であった。成膜条件の制御により表面粗さ(Ra)4.9nm程度の平坦な成膜が得られた。また、AZO/F8BT/MoO_3無機有機複合型LEDのF8BT層成膜 …
Technical report of IEICE. OME 112(57), 25-29, 2012-05-17
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