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High-Performance and High-Functionality SOI Photodiodes Utilizing Surface Plasmon Antenna
[in Japanese]
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INOKAWA Hiroshi
,
SATOH Hiroaki
,
ONO Atsushi
,
KAWAKUBO Ken
絶縁膜上のシリコン(SOI)中に形成されたpn接合フォトダイオードに表面プラズモン・アンテナを付加して高性能・高機能化を図った例を紹介する。厚さ100nmのシリコンの場合には、外部量子効率を1桁程度向上させることができる。アンテナは波長選択性、偏波選択性や入射角依存性を有し、ピーク波長や偏光角はレイアウト設計のみで変更できるため、異なる特性を有する多種類のフォトダイードを1チップに集積することも可 …
ITE Technical Report 36(50), 27-31, 2012-11-14
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