Search Results:  1-20 of 407

  • 1

    Micro-Assembly of Electrostatically driven Scanning Force Microscopy Probe using Clip Mechanism

    Kawai Yusuke , Kotani Kyosuke , Shao Chuan-Yu , Ono Takahito

    … A micro-assembly technique for microstructures using a silicon clip mechanism is developed for a time-of-flight scanning force microscope (TOF-SFM) probe with an electrostatically driven actuator. … Electrostatic actuation of the cantilevered microelement is demonstrated. …

    The Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 135(3), 98-102, 2015

    CrossRef

  • 2

    Principle of Fringe Electric Filed Driven Electrostatic Actuator with Ferroelectric Mover and Comb-shaped Electrodes  [in Japanese]

    TAKAHASHI Tomokazu , Yamada Hiroshi , SUZUKI Masato , AOYAGI Seiji

    … This paper proposes a novel electrostatic actuator driven by fringe electric field generated between comb-shaped electrodes on a substrate of stator. … The mass is laterally moved within the one pitch of the comb-shape electrode thanks to the electrostatic force generated between polarized charge of the tooth and that inside the electrode. … Therefore, the proposed actuator can work at low input voltage. …

    Journal of the Japan Society of Precision Engineering 81(1), 62-67, 2015

    CrossRef

  • 3

    Evaluation on silicon cantilever driven by pn-diode actuator  [in Japanese]

    中井 柚李 , 金谷 和哉 , 谷川 紘 [他]

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31, 1-5, 2014-10-20

  • 4

    Micro Inertial Driving Actuator with Built-in Position Sensor  [in Japanese]

    松木 薫 , 高橋 雅矢 , 森島 哲矢

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 134(6), 140-145, 2014-06

  • 5

    Charging properties of potassium ion SiO2 electret film  [in Japanese]

    橋口 原 , 杉山 達彦 , 芝田 泰 [他]

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113(449), 73-76, 2014-02-27

  • 6

    カリウムイオンSiO₂エレクトレット膜の帯電特性 (シリコン材料・デバイス)  [in Japanese]

    橋口 原 , 杉山 達彦 , 芝田 泰 [他]

    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113(450), 73-76, 2014-02-27

  • 7

    Charging properties of potassium ion SiO2 electret film  [in Japanese]

    HASHIGUCHI Gen , SUGIYAMA Tatsuhiko , SHIBATA Yasushi

    カリウムイオンをシリコン酸化膜の中に混入させ帯電膜とする新しいエレクトレット膜形成方法を開発した。シリコンを水蒸気酸化する際に、キャリアガスで水酸化カリウム水溶液をバブリングして酸化炉内に導入する。酸化後に700℃程度の高温で電圧を印加することで印加した電圧とほぼ等しい帯電膜を得るが、本講演では静電型アクチュエータによる帯電のその場観察と帯電電圧測定、帯電電圧の経時変化などについて報告する。

    Technical report of IEICE. SDM 113(450), 73-76, 2014-02-20

    CiNii Fulltext PDF - Limited 

  • 8

    Charging properties of potassium ion SiO2 electret film  [in Japanese]

    HASHIGUCHI Gen , SUGIYAMA Tatsuhiko , SHIBATA Yasushi

    カリウムイオンをシリコン酸化膜の中に混入させ帯電膜とする新しいエレクトレット膜形成方法を開発した。シリコンを水蒸気酸化する際に、キャリアガスで水酸化カリウム水溶液をバブリングして酸化炉内に導入する。酸化後に700℃程度の高温で電圧を印加することで印加した電圧とほぼ等しい帯電膜を得るが、本講演では静電型アクチュエータによる帯電のその場観察と帯電電圧測定、帯電電圧の経時変化などについて報告する。

    IEICE technical report. Electron devices 113(449), 73-76, 2014-02-20

    CiNii Fulltext PDF - Limited 

  • 9

    Spontaneous Oscillation due to Electrical Charging Effect in MEMS Electrostatic Switches

    Chen Yang-Che , Ishida Tadashi , Toshiyoshi Hiroshi , Chen Rongshun , Fujita Hiroyuki

    … Nanoscopic observation and analysis results suggested that a physical mechanism of the spontaneous oscillation is as follows: (i) Upon a voltage application to the actuator electrodes, the contact tips are mechanically brought into contact as an initial condition. … (iii) The accumulated charges develop an electrostatic attractive force that pulls back the electrode surfaces into contact again, (iv) thereby instantly neutralizing the charges. …

    The Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 134(11), 338-348, 2014

    CrossRef

  • 10

    Micro Inertial Driving Actuator with Built-in Position Sensor  [in Japanese]

    Matsuki Kaoru , Takahashi Masaya , Morishima Tetsuya

    … The micro inertial drive actuator, which can move two sliders independently, at 2.5 mm in width, 2 mm in height, and 20 mm in length was made as an experiment, and the basic characteristic was evaluated. …

    The Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 134(6), 140-145, 2014

    CrossRef

  • 11

    Nano-Scale Tensile Testing and Sample Preparation Techniques for Silicon Nanowires

    Fujii Tatsuya , Sudoh Koichi , Sakakihara Shouichi , Naito Muneyuki , Inoue Shozo , Namazu Takahiro

    … A reusable on-chip Si device consisting of comb-drive electrostatic actuator for generating tensile force and capacitive sensors for measuring tensile force and displacement was designed and developed for quasi-static tensile test of Si NWs. …

    Jpn J Appl Phys 52(11), 110118-110118-9, 2013-11-25

    JSAP

  • 12

    A 3.3 V operated variable transmission optical attenuator based on subwavelength grating  [in Japanese]

    本間 浩章 , 高橋 一浩 , 石井 仁 [他]

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30, 1-5, 2013-11-05

  • 13

    DESIGN AND FABRICATION OF A WAVELENGTH-TUNABLE SILICON PHOTONIC MICRO-RING RESONATOR CONSISTING OF OPTICAL WAVEGUIDE COUPLER

    Chu Hoang Manh , Ordoru Mustafa , Kanamori Yoshiaki [他]

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30, 4p, 2013-11-05

  • 14

    Study of Micro Inertial Driving Actuator with built-in Position Sensor  [in Japanese]

    松木 薫 , 高橋 雅矢 , 森島 哲矢

    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30, 1-4, 2013-11-05

  • 15

    Response time of a silicon photonic waveguide switch using an ultra-small electrostatic comb-drive actuator

    CHU M.H. , ABE S. , MUNEMASA Y. , SASAKI T. , HANE K.

    電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2013(1), 15-18, 2013-08-08

    References (5)

  • 16

    Fine Motion Stage with Multilayer Electrostatic Actuator Having the Gaps between Electrode Layers Maintained by Only Lubricating Oil  [in Japanese]

    SATO Kaiji

    電気学会研究会資料. LD, リニアドライブ研究会 2013(1), 11-15, 2013-02-21

    References (5)

  • 17

    High Position Resolution MEMS Fabry-Perot Tunable Filter with Dual Electrodes Electrostatic Actuator  [in Japanese]

    HIROKUBO Nozomu , KOMATSU Hiroshi , HASHIMOTO Nobuaki , SONEHARA Makoto , SATO Toshiro

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 133(2), 54-55, 2013-02-01

    References (4)

  • 18

    Theoretical and experimental investigation of influence of preamplifier's shield configuration on free-field reciprocity calibration of WS3 microphones  [in Japanese]

    TAKAHASHI Hironobu , HORIUCHI Ryuzo

    マイクロホンの自由音場感度は,マイクロホンおよびマイクロホンに接続するプリアンプの筐体形状に依存するので,マイクロホンと同径で十分に長い円筒の中にプリアンプを挿入して用いる.またマイクロホン感度は浮遊容量にも依存するので,プリアンプの入力端子は既定の形状のグランドシールドを持つことが必要である.一般の音響計測では,グランドシールドよりも大きな出力電圧が得られるドリブンシールド方式のプリアンプが用い …

    Technical report of IEICE. EA 112(388), 91-96, 2013-01-17

    CiNii Fulltext PDF - Subscription 

  • 19

    Development of Transparent 2 DOF Planar Electrostatic Motor by ITO Patterning and Screenprinting  [in Japanese]

    Hosobata Takuya , Amano Kouta , Yamamoto Akio , Higuchi Toshiro

    平面ディスプレイ上インタフェースへの応用を目指し,透明な二自由度静電モータ用のフィルム電極を開発した.フィルムには市松模様状に水平/垂直方向に並べられたITO導電膜による三相電極が形成されており,これらはスクリーン印刷で形成された導電性ポリマの配線により結線されている.同電極を固定子として用い,他のフィルム電極や誘電体シートを移動子として二自由度駆動することに成功した.

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2013S(0), 475-476, 2013

    CrossRef

  • 20

    Effect of Traveling Voltage Wavelength on Electrostatic Induction Actuators Driving Performance

    Tram Tommy , Maeda Atsuhiro , Yamamoto Akio

    … Four different six-phase electrostatic actuators were designed, with 7.2 mm, 4.8 mm and 3.6 mm pitch respectively, to generate different wavelengths of traveling waves while keeping the same 0.04 mm electrode height. … The experimental results showed that the actuator with 3.6 mm wavelength has the highest optimal frequency between the three actuators and gave a better performance in both thrust force and velocity. …

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2013S(0), 1105-1106, 2013

    CrossRef