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Si Ion Implantated GaN-HEMT for Millimeter-Wave Applications
[in Japanese]
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Nishimori Masato
,
Makiyama Kozo
,
Ohki Toshihiro
,
Yamada Atsushi
,
Imanishi Kenji
,
Kikkawa Toshihide
,
Hara Naoki
,
Watanabe Keiji
窒化ガリウム(GaN)高電子移動度トランジスタ(HEMT)は高出力・高効率なミリ波帯増幅器デバイスとして期待されている。今回我々はさらなるオン抵抗低減のためにSiイオン注入の検討を行った。n-GaN/i-AlN/n-GaN層の三層キャップを有するGaN-HEMTに対してイオン注入を行い、コンタクト抵抗を0.61Ωmmから0.09Ωmmまで低減することができた。さらにゲート長が0.12μmの短ゲート …
IEICE technical report. Component parts and materials 111(291), 61-65, 2011-11-10
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