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128 x 128 port 3D-MEMS optical switch module and its optical performance
[in Japanese]
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KAWAJIRI Yuko
,
NEMOTO Naru
,
MIZUKAMI Masato
,
YAMAGUCHI Joji
,
UCHIYAMA Shingo
,
SHIMOYAMA Nobuhiro
,
SAKATA Tomomi
,
SATO Yasuhiro
ポート数128の3D-MEMS光スイッチコアモジュールを試作し,光パス接続特性を評価した.本コアモジュールの光学系は,光入出力ポートとして用いる一対のコリメータアレイの間に一対のMEMSミラーアレイを対向させて配置したZ型の構成を有する.開発した128ポートコリメータアレイのビーム出射角度誤差は<0.065°と極めて小さく,コリメートビームの出射角度誤差に起因するMEMSミラー上でのケラレ損 …
Technical report of IEICE. LQE 110(396), 137-140, 2011-01-20
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