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Fabrication and transmit-receive characteristics of ultrasonic transducers array using epitaxial PZT thin films on γ-Al_2O_3/Si substrates
[in Japanese]
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OZAKI Katsuya
,
NISHIMURA Masato
,
SUZUKI Keisuke
,
NUMATA Yasuyuki
,
OKADA Nagaya
,
AKAI Daisuke
,
ISHIDA Makoto
本研究では、エピタキシャルPZT/SrRuO_3/Pt/γ-Al_2O_3/Si構造を用いた8×8chの2DpMUTsアレイを作製し、超音波の受信実験および送信実験を行った。受信信号のばらつきの平均化と送信音圧の向上のため1chは42個の振動子とし、医療診断装置で一般的に用いられるMHz帯を念頭に1素子の直径は100μmで作製した。作製したデバイスにおいて超音波の伝搬速度の違いを使用した文字のイメ …
IEICE technical report. Electron devices 112(32), 29-33, 2012-05-10
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