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Degradation of Ga_2O_3-In_2O_3-ZnO (GIZO) Thin Film Transistor
[in Japanese]
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Fuji Mami
,
Yano Hiroshi
,
Hatayama Tomoaki
,
Uraoka Yukiharu
,
Fuyuki Takashi
,
Jung Ji Sim
,
Kwon Jang Yeon
我々は、DCストレス下におけるGa_2O_3-In_2O_3-ZnO (GIZO)薄膜トランジスタの劣化について調査した。正のゲートバイアスストレスにおいて、しきい値電圧はゲート電圧とゲートサイズに依存して顕著にシフトする。しかし、S値および電界効果移動度に変化は見られなかった。発熱解析の結果、ドレイン電流によるジュール発熱が観測された。注目すべきは、このモードがドレイン電圧およびドレイン電流によ …
Technical report of IEICE. SDM 108(1), 47-50, 2008-04-11
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References (4)