CVD (化学蒸着) 法による酸化物薄層の生成とその機能

• 丹羽 幹

  鳥取大学工学部物質工学科

書誌事項

タイトル別名

• Preparation and its Function of Thin Layer on the Metal Oxide Surface by a Chemical Vapor Deposition Method
• 表面設計基礎講座-11-CVD(化学蒸着)法による酸化物薄層の生成とその機能
• ヒョウメン セッケイ キソ コウザ 11 CVD カガク ジョウチャク ホウ

抄録

記事分類: 化学・化学工業--染料・顔料・塗料 ; 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理

収録刊行物

• Journal of the Japan Society of Colour Material

  Journal of the Japan Society of Colour Material 68 (12), 763-770, 1995

  Japan Society of Colour Material

詳細情報

• CRID: 1390001205469170304
• NII論文ID: 10001661665
• NII書誌ID: AN00354634
• DOI: 10.4011/shikizai1937.68.763
• COI: 1:CAS:528:DyaK28XhtFWqsrg%3D
• NDL書誌ID: 3641094
• ISSN: 0010180X
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3641094
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles