イオンプレーティング法によるセラミックス薄膜に関する研究 A Study on Synthesis of Ceramics Thin Films by Ionplating Method

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抄録

This paper review recent research on synthesis of ceramics thin films with ion beam assisted deposition, electron cyclotron resonance plasma sputtering deposition and vacuum arc ion plating deposition method. These deposition method are generally applied to that technique in which deposition and simultaneous ion bombardment of a growing film surface are performed with a low-energy activated particles. The effects of the bombardment during deposition may result in either physical, structural change in the chemical reaction. Examples include improved adhesion, preferred crystal orientation, improved stoichiometry and synthesis of diamond and cubic BN at room temperature. There remain however, important items of study that have not yet received sufficient attention. One may be study in atomic level of these modifications caused by the ion bombardment during the nucleation stage of film growth.

収録刊行物

  • 粉体および粉末冶金

    粉体および粉末冶金 44(8), 721-728, 1997-08-15

    Japan Society of Powder and Powder Metallurgy

参考文献:  25件中 1-25件 を表示

  • <no title>

    日本学術振興会編

    薄膜ハンドブック 451, 1988

    被引用文献1件

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    権田俊一

    イオンビーム応用技術 256, 1989

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    上條栄治

    電熱 24, 12, 1985

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    日本学術振興会編

    電子 イオンビームハンドブック 517, 1986

    被引用文献1件

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    新無機膜研究会編

    イオン レーザによる表面改質 薄膜技術 15, 1994

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    緒方潔

    機能材料 8, 43, 1988

    被引用文献1件

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    矢口理英子

    粉体および粉末冶金 44, 190, 1997

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    上條栄治

    新材料創製討論会部会シンポジューム論文集 3, 82, 1989

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    酒井茂樹

    第4回イオン注入表面処理シンポジューム予稿集 79, 1988

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    上條栄治

    日本セラミックス協会平成3年秋期シンポジューム予稿集 237, 1991

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    上條栄治

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    Nucle. Instr. & Mathods Phys. Res. B33, 678, 1988

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    Nucle. Instr. & Methods Phys. Res. B33, 685, 1988

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    神代善正

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    プラズマ基礎工学 118, 1995

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    真空 36, 215, 1993

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    中村友紀

    真空 38, 238, 1995

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    KAMIJO E.

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    岡本康治

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    (社)末踏科学技術協会編

    傾斜機能材料 11, 1993

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    上條栄治

    平成6年度産学官共同研究事業成果報告書 27, 1995

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    中野寛

    真空 38, 34, 1995

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002014332
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00222724
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05328799
  • NDL 記事登録ID
    4275735
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-274
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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