スパッター成膜過程のモンテカルロ法による計算機シミュレーション

• 元広 友美

Bibliographic Information

Other Title

• スパッターセイマク カテイ ノ モンテカルロホウ ニ ヨル ケイサンキ シミュ
• 特集1 スパッタリングによる機能性セラミックス薄膜
• トクシュウ 1 スパッタリング ニ ヨル キノウセイ セラミックス ハクマク

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 33 (10), 805-810, 1998-10

  東京 : 日本セラミックス協会

Details

• CRID: 1520572358261081216
• NII Article ID: 10002017233
• NII Book ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL BIB ID: 4575322
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4575322
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles