イオンプレーティング法によるTiN被膜の大気雰囲気中での熱サイクル特性 Thermal Cycling Failure Characteristics in Air Using TiN Films by Ion Plating Technique

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収録刊行物

  • 圧力技術

    圧力技術 36(2), 66-72, 1998-03-25

    日本高圧力技術協会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

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    前田

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    安丸

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    塩沢

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    金原

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    日本学術振興会薄膜第131委員会

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    金原

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002020562
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00011762
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870154
  • NDL 記事登録ID
    4447837
  • NDL 雑誌分類
    ZP1(科学技術--化学・化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-750
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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