イオンプレーティング法によるTiN被膜の大気雰囲気中での熱サイクル特性
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- Other Title
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- イオン プレーティングホウ ニヨル TiN ヒマク ノ タイキ フンイキチュウ
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Journal
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- 圧力技術 / 日本高圧力技術協会 [編]
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圧力技術 / 日本高圧力技術協会 [編] 36 (2), 66-72, 1998-03
東京 : 日本高圧力技術協会
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Details
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- CRID
- 1520290885323019392
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- NII Article ID
- 10002020562
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- NII Book ID
- AN00011762
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- ISSN
- 03870154
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- NDL BIB ID
- 4447837
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles