スクリーン印刷したインキマスクを用いたITOマスクスパッタリングによるITOのパターニング The Patterning of ITO Film by Mask Sputtering of ITO with the Screen Printed Ink Mask

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 日本印刷学会誌

    日本印刷学会誌 34(2), 92-98, 1997-03-31

    日本印刷学会

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    安井秀昭

    日本機械学会論文集 59, 277, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    中西功次

    表面技術 43, 98, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    木村浩

    真空 30, 546, 1987

    被引用文献4件

キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002020726
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10161648
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09143319
  • NDL 記事登録ID
    4237785
  • NDL 雑誌分類
    ZP48(科学技術--印写工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-491
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ