スクリーン印刷したインキマスクを用いたITOマスクスパッタリングによるITOのパターニング The Patterning of ITO Film by Mask Sputtering of ITO with the Screen Printed Ink Mask

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著者

収録刊行物

  • 日本印刷学会誌  

    日本印刷学会誌 34(2), 92-98, 1997-03-31 

    日本印刷学会

参考文献:  3件

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キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002020726
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10161648
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09143319
  • NDL 記事登録ID
    4237785
  • NDL 雑誌分類
    ZP48(科学技術--印写工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-491
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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