回転塗布によるポジ型レジストの薄膜形成--基板寸法の影響

• 矢田 俊雄

• 前島 太郎

• 青木 理

Bibliographic Information

Other Title

• カイテン トフ ニヨル ポジガタ レジスト ノ ハクマク ケイセイ キバン ス

Journal

• 日本印刷学会誌 = Journal of printing science and technology

  日本印刷学会誌 = Journal of printing science and technology 34 (4), 263-271, 1997-07

  東京 : 日本印刷学会

Details

• CRID: 1520009410348409216
• NII Article ID: 10002021000
• NII Book ID: AN10161648
• ISSN: 09143319
• NDL BIB ID: 4324466
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4324466
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP48(科学技術--印写工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles