ステンレス鋼の温超純水システムへの応用

• 三宅 明子

  神鋼パンテツク(株)

書誌事項

タイトル別名

• Application of Stainless Steel for Hot Deionized Water System

収録刊行物

• 空気清浄

  空気清浄 33 (1), 7-15, 1995-04-30

キーワード

• 洗浄
• 純水
• 材料
• 汚染
• 半導体工業
• ステンレス鋼
• 不動態化

詳細情報

• CRID: 1573950398830485376
• NII論文ID: 10002039146
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles