パネル工程とクリーン化技術

• 今関 周治

  (株)日立製作所

• 近藤 克己

  (株)日立製作所

書誌事項

タイトル別名

• Clean Environment for LCD Panel Manufacturing Process

収録刊行物

• 空気清浄

  空気清浄 33 (6), 313-319, 1996-03-31

キーワード

• 液晶ディスプレイ
• 微小粒子
• イオン
• 汚染
• 静電気
• 清浄
• クリーンルーム

詳細情報

• CRID: 1570854174086686464
• NII論文ID: 10002039471
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles