ICウエハ洗浄での節水対策

• 原田 宙幸

書誌事項

タイトル別名

• IC ウエハ センジョウ デ ノ セッスイ タイサク
• 特集 クリーンルームの省エネルギー,省材料,省力化
• トクシュウ クリーン ルーム ノ ショウエネルギー ショウ ザイリョウ ショウ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 35 (4), 221-226, 1997-11

  東京 : 日本空気清浄協会

詳細情報

• CRID: 1520291855658747648
• NII論文ID: 10002040031
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL書誌ID: 4469217
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4469217
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles