化学汚染物質を低減したクリーンルーム Construction of low level chemical contamination clean room

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収録刊行物

  • 空気清浄

    空気清浄 36(2), 77-81, 1998-07-31

    日本空気清浄協会

参考文献:  20件中 1-20件 を表示

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    嶋崎綾子

    応用物理学会予稿集 686, 1992

    被引用文献1件

  • Analysis of Organic Impurities on Silicon Wafer Surfaces

    FERGASON L. A.

    Microcontamination, 33-36, 1986

    被引用文献2件

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    佐藤克己

    第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 293-296, 1991

    被引用文献2件

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    藤井武利

    空気清浄 32(3), 16-25, 1994

    被引用文献1件

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    清田省吾

    クリーンテクノロジー (10), 35-38, 1994

    被引用文献2件

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    白水好美

    応用物理学会予稿集 (2), 650, 1994

    被引用文献1件

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    木村

    応用物理学会予稿集 (2), 610, 1994

    被引用文献1件

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    池田聡

    応用物理学会予稿集 (2), 704, 1996

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    OHMI T.

    J. Vac. Sci. Technol. A13(3), 1165-1670, 1995

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    KASI R. S.

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    神保智子

    電子情報通信学会技術研究報告書, 75-82, 1996

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    SEMATECH Technology Transfer #95052812 A-TR, 1995

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    梶間智明

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 197-200, 1996

    被引用文献2件

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    吉川文恵

    第15回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 203-206, 1997

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    坂本和彦

    第14回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 85-88, 1996

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    小林貞雄

    Proceeding of 5th ISSM, 313-316, 1996

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    特開平9-249849

    被引用文献2件

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    林輝幸

    第31回超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム 161, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    特開平9-95661

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002040266
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00065670
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    00235032
  • NDL 記事登録ID
    4545172
  • NDL 雑誌分類
    ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
  • NDL 請求記号
    Z16-98
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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