化学汚染物質を低減したクリーンルーム

• 若山 恵英

• 小林 貞雄

• 井上 和夫

Bibliographic Information

Other Title

• カガク オセン ブッシツ オ テイゲンシタ クリーン ルーム
• 【特集】クリーンルームの化学汚染
• トクシュウ クリーン ルーム ノ カガク オセン

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 36 (2), 77-81, 1998-07

  東京 : 日本空気清浄協会

Details

• CRID: 1520854805369302400
• NII Article ID: 10004731029
• NII Article ID: 10002040266
• NII Book ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL BIB ID: 4545172
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4545172
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles