化学汚染の分析評価方法クリーンルーム空気中の化学汚染物質について

• 藤本 武利

Bibliographic Information

Other Title

• カガク オセン ノ ブンセキ ヒョウカ ホウホウ クリーン ルーム クウキチュ
• 【特集】クリーンルームの化学汚染
• トクシュウ クリーン ルーム ノ カガク オセン

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 36 (2), 91-103, 1998-07

  東京 : 日本空気清浄協会

Details

• CRID: 1520854805098163200
• NII Article ID: 10004731038
• NII Article ID: 10002040303
• NII Book ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL BIB ID: 4545174
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4545174
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles