An Experiment for Material Surface Modification by the Charged Microparticle (Macron) Acceleration and Implantation.

• ENOKIDO Yuji

  The Energy Research Center, Wakasa Bay

• KONDO Michiya

  The Energy Research Center, Wakasa Bay

• GOTO Junichi

  The Ion Engineering Research Institute Corporation

書誌事項

タイトル別名

• Experiment for Material Surface Modific

収録刊行物

• Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｎｕｃｌｅａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（日本原子力学会英文論文誌）

  Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｎｕｃｌｅａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（日本原子力学会英文論文誌） 35 (1), 82-84, 1998

  一般社団法人 日本原子力学会

キーワード

• material surface modification
• charged microparticles
• charging particle
• acceleration
• implantation
• mass ratio
• nickel powder
• artificial diamond
• silicon wafer target
• 200kV ion implantation equipment
• scanning electron microscope

詳細情報

• CRID: 1390282679071118336
• NII論文ID: 10002078881
• NII書誌ID: AA00703720
• DOI: 10.3327/jnst.35.82
• COI: 1:CAS:528:DyaK1cXhs1CltLc%3D
• ISSN: 18811248
• ISSN: 00223131
• NDL書誌ID: 4384444
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4384444
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles