30ps単一パルスNd : YAGレーザー光照射による基板非損傷Ni薄膜除去 Removal of Thin Ni Film without Substrate-Damage by 30 ps-Single Pulse from a Nd : YAG Laser

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著者

    • 吉田 弘樹 YOSHIDA Hiroki
    • 岐阜大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering Gifu University
    • 水谷 友徳 MIZUTANI Tomonori
    • 岐阜大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering Gifu University
    • 阪上 幸男 SAKAGAMI Yukio
    • 岐阜大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering Gifu University

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 26(2), 164-167, 1998-02-15 

    レ-ザ-学会

参考文献:  16件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002106120
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    4413063
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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