窒化ケイ素微粒子上への窒化ケイ素超微粒子コーティング

• 英 敬信

  成蹊大学工学部

• 上宮 成之

  成蹊大学工学部

• 小島 紀徳

  成蹊大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Coating of Silicon Nitride Fine-powder on Silicon Nitride Particles.

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 49 (1), 92-93, 1998

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Coating of Particles
• Silicon Nitride
• Thermal CVD

詳細情報

• CRID: 1390001204115197312
• NII論文ID: 10002108601
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.49.92
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles