Al-Si-Cu/Ti/TiN/Ti積層配線の結晶配向性と信頼性に及ぼす下地絶縁膜吸湿の影響 Effect of Water Absorption of Dietectric Underlayers on Texture and Reliability in Al-Si-Cu/Ti/TiN/Ti Layered Interconnects

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(3), 266-272, 1998-03-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

  • <no title>

    VAIDYA S.

    Thin Solid Films 75, 253, 1981

    被引用文献20件

  • <no title>

    KNORR D. B.

    Appl. Phys. Lett. 59, 16, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOYODA H.

    Proc. the 32nd International Reliability Physics Symposium 178, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    ONODA H.

    J. Appl. Phys. 77, 885, 1995

    被引用文献5件

  • <no title>

    SHIBATA H.

    J. Appl. Phys. 32, 4479, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    OLOWOLAFE J. O.

    Appl. Phys. Lett. 62, 2443, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    KAIZUKA T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 470, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOSHIDA T.

    J. Appl. Phys. 81, 7030, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    ONODA H.

    Proc. the 34th International Reliability Physics Symposium 139, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOSHIMARU M.

    Proc. the 25th International Reliability Physics Symposium 22, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    OHWAKI T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 2 36, L154, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    ADAMSON A. W.

    Physical Chemistry of Surfaces 591, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    KLIER K.

    J. Phys. Chem. 77, 1458, 1973

    被引用文献2件

  • Glass III

    DUNKEN H. H.

    Treatise on Materials Science and Technology 22, 29, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    KONDO S.

    J.Chem.Soc.Faraday Trans. 80, 2033, 1984

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002108746
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4413778
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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