高分解能SEMによる薄膜表面構造の最適な撮影法 Microscopy of the Surface Structure of Thin Films Using a High Resolution SEM

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(5), 482-486, 1998-05-01

    表面技術協会

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

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    戸所秀男

    日本学術振興会132委員会第82回研究会資料 20, 1990

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    田辺良美

    走査電子顕微鏡の基礎と応用 38, 1980

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    金原粲

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    垂井康夫

    半導体プロセスハンドブック 456, 1996

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002109262
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4481826
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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