表面分析のケーススタディ(5)高分解能SEMによる薄膜表面構造の最適な撮影法

• 多持 隆一郎

Bibliographic Information

Other Title

• ヒョウメン ブンセキ ノ ケース スタディ 5 コウブンカイノウ SEM ニヨ

Journal

• 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan

  表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49 (5), 482-486, 1998-05

  東京 : 表面技術協会

Details

• CRID: 1520572357571084160
• NII Article ID: 10002109262
• NII Book ID: AN1005202X
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 4481826
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4481826
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles