スパッタリングプロセスとガス Effects of the Gasses in Sputtering Processes

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(6), 542-546, 1998-06-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

  • <no title>

    岡林秀和

    応用物理学会結晶工学分科会第106回研究会テキスト 35, 1997

    被引用文献1件

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    高橋研

    表面技術 48, 1070, 1997

    被引用文献1件

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    恒川孝二

    表面技術 48, 1076, 1997

    被引用文献1件

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    大見忠弘

    別冊日経マイクロデバイスNo.2 40, 1988

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    浦野智秋

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    金子尚史

    応用物理学会結晶工学分科会第106回研究会テキスト 43, 1997

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    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002109379
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4502316
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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