ガスと表面処理　　ガス利用装置の保守管理と適正処理

• 柳田 一志

  三友プラントサービス (株)

書誌事項

タイトル別名

• Application of Gases to Surface Finishing Technologies. Maintenance and Treatment of Contaminated Equipment by Hazardous Gases.
• ガス リヨウ ソウチ ノ ホシュ カンリ ト テキセイ ショリ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 49 (6), 559-563, 1998

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Semiconductor
• Enviromental Risk
• Maintenance
• Treatment

詳細情報

• CRID: 1390001204115187968
• NII論文ID: 10002109410
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.49.559
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 4502319
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4502319
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles