立体的なマイクロマシンを作る -高アスペクト比マイクロ構造製作法- Making Three -Dimensional Micromachines -Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(8), 844-848, 1998-08-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

  • <no title>

    藤田博之

    マイクロマシンの世界, 1992

    被引用文献18件

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    江刺正喜

    マイクロマシ-ニングとマイクロメカトロニクス, 1992

    被引用文献33件

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    PISTER K. S. J.

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    WESTBERG H.

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    IKUTA K.

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    中尾政之

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    被引用文献1件

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    柳沢佳一

    電気学会論文誌E分冊 117, (1), 39, 1997

    被引用文献1件

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    中村和人

    電気学会論文誌E分冊 117, (1), 15, 1997

    被引用文献1件

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    山形豊

    電気学会論文誌E分冊 117, (1), 33, 1997

    被引用文献1件

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    余祖元

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  • IC-processed Electrostatic Micromotors

    FAN L. S.

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    DOI 被引用文献18件

  • IC-processed Electrostatic Synchronous Micromotors

    TAI Y. C.

    Sensors and Actuators 20, 49-55, 1989

    DOI 被引用文献22件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002110178
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4546125
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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