Making Three-Dimensional Micromachines. Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure.

• FUJITA Hiroyuki

  Inst. of Industrial Science. Univ. of Tokyo

Bibliographic Information

Other Title

• 立体的なマイクロマシンを作る　　高アスペクト比マイクロ構造製作法
• リッタイテキ ナ マイクロマシン オ ツクル コウ アスペクトヒ マイクロ コ
• Fabrication Technologies for High-Aspect-Ratio Microstructure
• 高アスペクト比マイクロ構造製作法

Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 49 (8), 844-848, 1998

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• Micromachine
• 3 Dimension Micromachining
• Semi-conductor Micromachining

Details

• CRID: 1390282679091907584
• NII Article ID: 10002110178
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.49.844
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 4546125
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4546125
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles