スパッタ法による磁性膜作製におけるガス種の検討 Effects of Sputtering Gas Species on Properties of Sputter-deposited Magnetic Thin Films

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(10), 1078-1082, 1998-10-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    金原粲

    スパッタリング現象

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKAGAWA S.

    J. of Magn. Soc. Jpn. 15[S2], 27, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOFFMAN D. W.

    J. Vac. Sci & Technol. 17, 380, 1980

    被引用文献2件

  • <no title>

    ECKSTEIN W.

    Nuclear Instruments & Methods in Physics research B18, 344, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    CARCIA P. F.

    Appl. Phys. Lett. 56[23], 2345, 1990

    被引用文献7件

  • <no title>

    渡辺健太郎

    電子情報通信学会技術研究報告, MR97-27, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    THORNTON J. A.

    J. Vac. Sci. Technol. A 4, 3059, 1986

    DOI 被引用文献35件

  • Xeをスパッタガスとした大飽和磁化Baフェライト膜の作製

    野間 賢二 , 松下 伸広 , 中川 茂樹 , 直江 正彦

    日本応用磁気学会誌 00020(00002), 325-328, 1996-04-01

    J-STAGE DOI 参考文献3件 被引用文献6件

  • <no title>

    LOTGERING F. K.

    J. Inorg. Nucl. Chem. 9, 113-123, 1959

    DOI 被引用文献67件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002110795
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4579091
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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