交流型酸化チタン厚膜化学センサーへの電極材料効果 Influence of Surface Metal Electrodes on AC Characteristics of a TiO_2 Thick Film Chemical Sensor

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抄録

To determine the presence of chemical compounds, we applied AC voltage to a titanium dioxide surface chemical sensor and recorded conductivity, surface potential and phase difference of the input voltage-output current wave form. This multidimensional information enabled us to distinguish alcohols and benzenes with a single detector. We also found that selecting the suitable type of surface electrode enhances sensitivity of the sensor.

収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(10), 1111-1114, 1998-10-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

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    応用物理学会編

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002110867
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4579097
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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