電気銅めっきによる超微細パターンの作製 Preparation of Ultra Fine Pattern Formation by Electro Copper Plating

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(10), 1130-1131, 1998-10-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    DUBIN V. M.

    J. Electrochem. Soc. 144, 898, 1997

    被引用文献14件

  • <no title>

    TING C. H.

    Proc. of 13th VLSI Multilevel Interconnection Conference 481, 1996

    被引用文献3件

  • <no title>

    DUBIN V. M.

    Proc of 14th VLSI Multilevel Interconnection Conference 69, 1997

    被引用文献2件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

  • DC-DCコンバーター用薄膜インダクタ

    小嶋 勇介 , 山本 節夫 , 西村 和則 , 栗巣 普揮 , 松浦 満 , 石田 浩一 , 岡野 勇

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 23, 356a-357, 1999-10-01

    参考文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002110923
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09151869
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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