電気銅めっきによる超微細パターンの作製 Preparation of Ultra Fine Pattern Formation by Electro Copper Plating

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan  

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(10), 1130-1131, 1998-10-01 

    The Surface Finishing Society of Japan

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002110923
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09151869
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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