CVD-Cu膜の高速成膜 High-rate Deposition of CVD-Cu Film

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収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 49(11), 1192-1195, 1998-11-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

  • <no title>

    UENO K.

    Advanced Metallization for ULSI Applications in 1994 95, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    林喜宏

    セミコン関西97ULSI技術セミナー講演予稿集 3, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    HANPDEN-SMITH M. J.

    Polyhedron 14, 699, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    関口敦

    計測技術 25(10), 21, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    小林明子

    アネルバ技報 2, 20, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    KOBAYASHI A.

    Advanced Metallization for ULSI Applications in 1996 177, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002111031
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    4603781
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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