三磁極マグネトロンスパッタリング法によるNi-Cr合金薄膜の作成 Formation of Ni-Cr Films by Tri-pole Magnetron Sputtering

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抄録

We studied thin Ni-Cr films deposited by Tripole Magnetron Sputtering (TMS) developed to provide enable composition control of deposited films. Ni-Cr films deposited at a substrate temperature of 200°C showed that their resistivity is influenced by their microstructure, reflected by sputtering conditions, whereas their composition is predominant in their temperature coefficient of resistivity.

収録刊行物

  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 50(1), 41-46, 1999-01-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  12件中 1-12件 を表示

  • <no title>

    MAISSEL L. I.

    Handobook fo Thin Film Technology ch, 18, 1970

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOOIJ J. H.

    J. Vac. Sci. Technol. 9, 446, 1671

    被引用文献1件

  • <no title>

    FODOR G.

    Electrocomponent Sci. Technol. 7, 211, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    THIEL R. A.

    IEEE Trans. Components Hybrids, Manuf. Technol. CHMT-2, 467, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUKAMI T.

    Thin Solid Films 151, 373, 1987

    被引用文献2件

  • <no title>

    VAN DER PAUW L. J.

    Philips. Res. Rep. 13, 1, 1958

    被引用文献14件

  • <no title>

    城阪俊吉

    エレクトロニクス材料 116, 1975

    被引用文献1件

  • <no title>

    深海龍夫

    電気学会論文誌 58-A36, 278, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    PATTERSON W. L.

    J. vac. Sci. Technol 4, 343, 1967

    被引用文献1件

  • <no title>

    小林春洋

    スパッタ薄膜 80, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZELENKA J.

    Thin Solid Films 200, 239, 1991

    DOI 被引用文献2件

  • スパッタリングによるYIG薄膜の組成のずれについて

    山中 俊一 , 直江 正彦 , 御厨 健太

    電子通信学会論文誌 C 58(10), p597-603, 1975-10

    被引用文献1件

被引用文献:  4件中 1-4件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002111547
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    973104
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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