ゲート酸化膜の薄層化と高品質化 Gate Oxide Thinning and Quality Improvement

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 16(1), 60-64, 1995-01-10

参考文献:  36件中 1-36件 を表示

  • <no title>

    中島長明

    第26回応用物理学関係連合講演会予稿集(春期) 512, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    逸見学

    第27回応用物理学関係連合講演会予稿集(春期) 553, 1980

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Appl. Phys. Lett. 40(6), 496, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Extended Abstracts of The Electrochem. Soc. Fall. Meeting 93-2, New Orleans 256,412, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    WADA K.

    J. Cryst. Growth 57, 535, 1982

    被引用文献4件

  • <no title>

    逸見学

    第40回応用物理学会学術講演会予稿集(秋期) 479, 1979

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Electrochem. Soc. 129, 800, 1982

    被引用文献2件

  • <no title>

    ISTUMI M.

    J. Electrochem. Soc. 130(5), 1160, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIONO N.

    J. Electrochem. Soc. 130, 138, 1983

    被引用文献2件

  • <no title>

    SHIONO N.

    Appl. Phys. Lett. 48, 1129, 1986

    被引用文献3件

  • <no title>

    KOBAYASHI T.

    IEDM 84, 414, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Symposium on VLSI, IV-2, 1985

    被引用文献1件

  • 超 LSI 技術12, その2,

    塩野登

    半導体研究 181, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUJINAGA K.

    昭和58年度電子通信学会総合全国大会講演論文集(2), 2-331, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    AMAZAWA T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 23(11), 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    HASHIMOTO C.

    IEEE Trans ED36(1), 14, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Extended Abstract, Spring Meeting, The Electrochem. Soc. Vol. 91-1, Washington, DC May Abstract No. 348 524, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    YABUMOTO N.

    Extended Abstracts of The Electrochem. Soc. Fall Meeting 93-2, New Orleans 299,490, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Appl. Phys. Lett. 63(8), 1095, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    MACHIDA K.

    Extended Abstracts of the 1991 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, Yokohama 553, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    MACHIDA K.

    Digest of Papers, The 5th Int. Micro Process Conf. Kawasaki 183, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    KISHI K.

    Digest of Papers, The 5th Int. Micro Process Conf. Kawasaki 140, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIONO N.

    IEEE/IRPS 1, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32(12), 5468, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    AKIYA H.

    Extended Abstract, Fall Meeting, The Electrochem. Soc. 94-2, Miami Beach 476, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Appl. Phys. 72, 2185, 1992

    DOI 被引用文献8件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Appl. phys. 52(5), 3491, 1981

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Appl. phys. 54(4), 1930, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    HORIGUCHI S.

    J. Appl. Phys. 58(4), 1597, 1985

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J.Appl.Phys. 73, 7515, 1993

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    AKIYA H.

    Jpn. J. Appl. Phys. 20(3), 647, 1981

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Electrochem. Soc. 141(5), 1304, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Electrochem. Soc. 141(5), 1299, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Appl. Phys. 75(12), 8153, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ITSUMI M.

    J. Electrochem. Soc. 141(9), 2460, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    AKIYA H.

    J. Electrochem. Soc. 141(10), L139, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002114793
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ