マイクロ・スパッタリングによるダイヤモンド薄膜の平坦化加工

• 船本 宏幸

  セイコー電子工業(株)

• 杉田 利男

  東京理科大学工学部電気工学科

• 野口 光一

書誌事項

タイトル別名

• Planing Process of Synthetic Diamond Films by Penning Discharge Micro-Sputtering

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 16 (4), 258-264, 1995-04-10

詳細情報

• CRID: 1571135649067485696
• NII論文ID: 10002115410
• NII書誌ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles