電子ビーム励起表面反応を用いたナノメータエッチング Nanometer Etching Using Electron Beam Induced Surface Reactions

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 16(6), 353-359, 1995-06-10

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

  • <no title>

    MATSUI S.

    Appl. Phys. Lett. 51, 1498, 1987

    被引用文献4件

  • <no title>

    MATSUI S.

    J. Vac. Sci. Technol. B7, 1182, 1989

    被引用文献6件

  • <no title>

    WINTERS H. F.

    Appl. Phys. Lett. 34, 70, 1979

    被引用文献2件

  • <no title>

    OCHIAI Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3266, 1991

    被引用文献9件

  • <no title>

    MATSUI S.

    Appl. Phys. Lett. 55, 134, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    WATANABE H.

    J. Vac. Sci. Technol. B11, 2288, 1993

    被引用文献5件

  • <no title>

    BABA M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 29, 2854, 1990

    被引用文献4件

  • <no title>

    BABA M.

    Proc. of the 1991 MRS Fall Meetings, Boston 236, 159, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    BABA M.

    Appl. Phys. Lett. 64, 2852, 1994

    被引用文献4件

  • <no title>

    BABA M.

    Appl. Phys. Lett. 65, 1927, 1994

    被引用文献5件

  • <no title>

    COBURN J. W.

    J. Appl. Phys. 50, 3189, 1979

    DOI 被引用文献20件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002115693
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ