X線による微細加工と原子層エッチングの可能性 Possibility of Microfabrication and Atomic Layer Etching Controlled by X-ray Excited Processes

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  • 表面科学

    表面科学 16(6), 360-366, 1995-06-10

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002115705
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
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