Atomic Layer Etching by Using Multiply-Charged Ions

• MOCHIJI Kozo

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd.

Bibliographic Information

Other Title

• 多価イオンによる原子層エッチング

Journal

• 表面科学

  表面科学 16 (6), 367-372, 1995-06-10

Details

• CRID: 1573105973904361472
• NII Article ID: 10002115742
• NII Book ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles