原子層エッチングと表面反応

• 高桑 雄二

  東北大学科学計測研究所

書誌事項

タイトル別名

• Surface Reactions in Atomic Layer Etching

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 16 (6), 373-377, 1995-06-10

詳細情報

• CRID: 1570291224137254528
• NII論文ID: 10002115762
• NII書誌ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles