高精度RBS共鳴散乱法による薄膜の酸素分析 Accurate Oxygen Distribution Analysis with Use of ^<16>O(α, α)^<16>O Resonant Backscattering

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収録刊行物

  • 表面科学  

    表面科学 16(6), 391-396, 1995-06-10 

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002115796
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
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