並進エネルギーを制御した塩素分子線によるシリコンのエッチング反応 Etching Reactions on Silicon Surfaces by Translational-Energy-Controlled Chlorine Molecular Beams

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 16(9), 550-556, 1995-09-10

参考文献:  28件中 1-28件 を表示

  • <no title>

    TERAOKA Y.

    Appl. Phys. Lett. 63, 3355, 1993

    被引用文献4件

  • <no title>

    TERAOKA Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 2240, 1994

    被引用文献3件

  • <no title>

    ANDERSON J. B.

    Molecular Beams 275, 1966

    被引用文献1件

  • <no title>

    正畠宏祐

    分光研究 39, 187, 1990

    被引用文献5件

  • <no title>

    正畠宏祐

    新実験化学講座分光III 107, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    CAMPOS F. X.

    J. Vac. Sci. Technol. B10, 2217, 1992

    被引用文献6件

  • <no title>

    LEONE S. R.

    Proc. of Symp. on Dry Process 85, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    CROSS J. B.

    Proc. of 15th Int. Symp. on Rarefied Gas Dynamics 657, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    GIAPIS K. P.

    Proc. of American Vacuum Society 41st Nat. Symp. 277, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOSHIKAWA H.

    Chem. Phys. Lett. 223, 341, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    KING D. A.

    Surf. Sci. 29, 454, 1972

    被引用文献2件

  • <no title>

    GUPTA P.

    Surf. Sci. 249, 92, 1991

    被引用文献10件

  • <no title>

    PURDIE D.

    Phys. Rev. B48, 2275, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    JOHANSSON L. S. O.

    Phys. Rev. B42, 9534, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUO J.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, 2025, 1992

    被引用文献4件

  • <no title>

    AOTO N.

    Surf. Sci. 199, 408, 1988

    被引用文献3件

  • <no title>

    OHNO T.

    Phys. Rev. Lett. 70, 962, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    SZABO A.

    Surf. Sci. 312, 284, 1994

    被引用文献9件

  • <no title>

    JACKMAN R. B.

    Surf. Sci. 176, 183, 1986

    被引用文献2件

  • <no title>

    MADIX R. J.

    Surf. Sci. 24, 264, 1971

    被引用文献1件

  • <no title>

    SZABO A.

    J. Vac. Sci. Technol. A12, 648, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    TERAOKA Y.

    Proc. of 16th Symp. on Dry Process 93, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KARAHASHI K.

    Proc. of 16th Symp. on Dry Process 99, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KARAHASHI K.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 2252, 1994

    DOI 被引用文献4件

  • <no title>

    SULLIVAN D. J. D.

    J.Phys.Chem. 97, 12051, 1993

    DOI 被引用文献10件

  • <no title>

    GAO Q.

    J.Chem.Phys. 98, 8308, 1993

    DOI 被引用文献6件

  • <no title>

    KARAHASHI K.

    Appl. Surf. Sci. 60-61, 126, 1992

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    YAN C.

    J.Chem.Phys. 102, 3381, 1995

    DOI 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002116171
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ