ミニ突起法によるSIMSの深さ方向濃度分布測定精度の向上 Improvements of the Accuracy of Depth Profiling in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) by using a Mini-Projection Technique

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収録刊行物

  • 表面科学  

    表面科学 17(3), 154-160, 1996-03-10 

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002116991
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • データ提供元
    CJP書誌 
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