溶剤蒸発に伴うレジスト膜の粘性指状変形と接着性 Viscous Fingering Deformation of Resist Film During Solvent Evaporation and Its Adhesive Behavior

この論文をさがす

著者

    • 河合 晃 KAWAI Akira
    • 長岡技術科学大学 工学部 電気系 Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology
    • 小泉 延恵 KOIZUMI Nobue
    • 長岡技術科学大学 工学部 電気系 Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology

収録刊行物

  • 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan

    日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan 33(11), 434-437, 1997-11-01

    日本接着学会

参考文献:  13件中 1-13件 を表示

  • <no title>

    SAFFMAN P. G.

    Proc. Roy. Soc. A245, 312, 1958

    被引用文献1件

  • <no title>

    宮島佐介訳

    フラクタル成長現象 1

    被引用文献1件

  • <no title>

    KAWAI A.

    J. Appl. Phys. 30, 121, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    永田一志

    日本接着学会誌 31, 187, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    NAGATA H.

    J. Appl. Phys. 33, 3635, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    YANAZAWA H.

    J. Appl. Phys. 2, L753, 1974

    被引用文献1件

  • <no title>

    LUSSOW R. O.

    J. Electrochem. Soc. 115, 660, 1968

    被引用文献1件

  • <no title>

    KAWAI A.

    33, L146, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KAWAI A.

    Thin Solid Films 273, 308, 1996

    被引用文献9件

  • <no title>

    BEN-JACOB E.

    Phys. Rev. Lett. 55, 1315, 1985

    被引用文献5件

  • <no title>

    SAITO Y.

    Rhys. Rev. A 38, 2148, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    BAN H.

    J.Vac.Sci.Technol. B9, 3387, 1991

    DOI 被引用文献10件

  • <no title>

    MORAN J. M.

    J. Vac. Sci. Technol. 16, 1620, 1979

    DOI 被引用文献5件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002120050
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10341672
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09164812
  • NDL 記事登録ID
    4334452
  • NDL 雑誌分類
    ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-134
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ